Kursthemen
-
Allgemeines
-
Институт радиоэлектроники, фотоники и цифровых технологий, Кафедра нанотехнологий в электронике
Специальность: 11.04.04 Электроника и наноэлектроника
Индекс по учебному плану: Б1.О.06
Дисциплина: Методы исследования технологических процессов микроэлектроники, семестр: 2
Количество часов: 180 из них
лекции - 16
лабораторная работа - 32
практическая работа - 8
самостоятельная работа - 88
Форма контроля: экзамен