Тематический план

  • Общее

    • Объявления Форум

    • Институт радиоэлектроники, фотоники и цифровых технологий, Кафедра общей физики

      Специальность: 11.04.04 Электроника и наноэлектроника

      Индекс по учебному плану: Б1.В.03

      Дисциплина: Плазмохимическое и жидкостное травление в микроэлектронике, семестр: 1

      Количество часов: 180 из них

      лекции - 16

      лабораторная работа - 32

      самостоятельная работа - 96

      Форма контроля: экзамен

  • Тема 1

  • Тема 2

  • Тема 3

  • Тема 4

  • Тема 5

  • Тема 6

  • Тема 7

  • Тема 8

  • Тема 9

  • Тема 10