Тематический план

  • Общее

    • Объявления Форум

    • Институт радиоэлектроники, фотоники и цифровых технологий, Кафедра электронных и квантовых средств передачи информации

      Специальность: 11.04.04 Электроника и наноэлектроника

      Индекс по учебному плану: Б1.В.04

      Дисциплина: Методы и процессы фотолитографии, семестр: 2

      Количество часов: 252 из них

      лекции - 16

      лабораторная работа - 32

      практическая работа - 16

      самостоятельная работа - 148.7

      Форма контроля: экзамен

  • Тема 1

  • Тема 2

  • Тема 3

  • Тема 4

  • Тема 5

  • Тема 6

  • Тема 7

  • Тема 8

  • Тема 9

  • Тема 10