Kursthemen
-
Allgemeines
-
Институт радиоэлектроники, фотоники и цифровых технологий, Кафедра электронных и квантовых средств передачи информации
Специальность: 11.04.04 Электроника и наноэлектроника
Индекс по учебному плану: Б1.В.04
Дисциплина: Методы и процессы фотолитографии, семестр: 2
Количество часов: 252 из них
лекции - 16
лабораторная работа - 32
практическая работа - 16
самостоятельная работа - 148.7
Форма контроля: экзамен