Kursthemen
-
Allgemeines
-
Институт радиоэлектроники, фотоники и цифровых технологий, Кафедра нанотехнологий в электронике
Специальность: 11.04.04 Электроника и наноэлектроника
Индекс по учебному плану: Б1.В.05
Дисциплина: Методы легирования полупроводниковых материалов микроэлектроники, семестр: 2
Количество часов: 180 из них
лекции - 16
лабораторная работа - 16
практическая работа - 8
самостоятельная работа - 104
Форма контроля: экзамен
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-