Topic outline

  • General

    • Институт радиоэлектроники, фотоники и цифровых технологий, Кафедра нанотехнологий в электронике

      Специальность: 11.04.04 Электроника и наноэлектроника

      Индекс по учебному плану: Б1.В.05

      Дисциплина: Методы легирования полупроводниковых материалов микроэлектроники, семестр: 2

      Количество часов: 180 из них

      лекции - 16

      лабораторная работа - 16

      практическая работа - 8

      самостоятельная работа - 104

      Форма контроля: экзамен