Тематический план
-
Общее
-
Институт радиоэлектроники, фотоники и цифровых технологий, Кафедра конструирования и технологии производства электронных средств
Специальность: 11.04.04 Электроника и наноэлектроника
Индекс по учебному плану: Б1.В.ДВ.02.02
Дисциплина: Вакуумная техника и технологии в производстве электроники, семестр: 3
Количество часов: 144 из них
лекции - 16
лабораторная работа - 16
самостоятельная работа - 76
Форма контроля: экзамен